超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃纯水水质：

电阻率>0.2MΩ.cm (进水电导率<300μs/cm)

颗粒物（＞0.22μm ）＜1个/mlTOC＜1～5ppb

微生物≤1CFU/ml热源＜0.001EV/ml

重金属＜0.01ppm低硅泄漏

                     进水水源:市政自来水

                     进水压力: >0.1MPa

                     进水水温：2～40℃

                     工作电源:220V/50H2

制水量:20L/H