超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃

颗粒物（＞0.22μm ）＜1个/ml

TOC＜15ppb

重金属＜0.01ppm

微生物＜1CFU/ml

低硅泄漏

纯水水质：电阻率>0.2MΩ.cm

                      (进水电导率<300μs/cm)                       

                        进水水源:市政自来水

                        进水压力: >0.1MPa

                        进水水温：2～40℃

                        工作电源:220V/50Hz