超純水電阻率≥18MΩ.cm25℃純水水質：

電阻率>0.2MΩ.cm (進水電導率<300μs/cm)

顆粒物（＞0.22μm ）＜1個/mlTOC＜1～5ppb

微生物≤1CFU/ml熱源＜0.001EV/ml

重金屬＜0.01ppm低硅洩漏

                     進水水源:市政自來水

                     進水壓力: >0.1MPa

                     進水水溫：2～40℃

                     工作電源:220V/50H2

制水量:20L/H