超純水電阻率≥18MΩ.cm25℃

顆粒物（＞0.22μm ）＜1個/ml

TOC＜15ppb

重金屬＜0.01ppm

微生物＜1CFU/ml

低硅洩漏

純水水質：電阻率>0.2MΩ.cm

                      (進水電導率<300μs/cm)                       

                        進水水源:市政自來水

                        進水壓力: >0.1MPa

                        進水水溫：2～40℃

                        工作電源:220V/50Hz